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壓敏膠產(chǎn)品
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光刻膠底抗反射涂層
產(chǎn)品簡介
至昕有機(jī)硅光刻膠底抗反射涂層主要由硅樹脂、光引發(fā)劑、溶劑等組成,可有效減少反射和駐波效應(yīng)、凹缺效應(yīng),提高尺寸均一性和圖案分辨率。
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產(chǎn)品特性
高折射系數(shù)
高紫外光吸收率
產(chǎn)品應(yīng)用
半導(dǎo)體集成電路制造
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地址:江蘇省張家港市保稅區(qū)華達(dá)路36號科創(chuàng)園I棟
電話:0512-58173011
郵件:zhixin@zentekmaterials.com
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